康泰克 CONTEC

溫度監測方案

在半導體制造領域中，追求更高良率與更嚴苛的工藝控制時，實現大規模、高精度且穩定可靠的溫度監測是一大核心挑戰，但這一過程常飽受諸多如下痛點困擾。

1、通道密度不足，復雜設備需部署上百測溫點，傳統方案擴展性差、布線復雜。

2、精度與可靠性隱患，外部冷端補償(CJC)傳感器易引入誤差，威脅工藝一致性。

3、系統集成成本高，專用DAQ系統昂貴，自研驅動周期長、風險大。

4、擴展維護困難，現有系統難隨工藝升級靈活擴展，維護成本高。

Part 1.康泰克直面挑戰

 推出針對性解決方案 

專為半導體制造優化的4通道熱電偶HAT擴展板CPI-SSI-4C，基于Raspberry Pi? HAT標準打造的工業級溫度采集核心組件，旨在高效、經濟地解決上述痛點，構建未來就緒的溫度監測系統。

Part 2.痛點破解之道

CPI-SSI-4C核心優勢

提問：通道密度不足？

回答：極簡構建32通道高密度系統

單Raspberry Pi?主機可堆疊8塊 CPI-SSI-4C，無縫擴展至32熱電偶通道；兼容J, K, E, N, R, S, T等主流熱電偶，滿足從低溫到高溫的多樣化工藝測溫需求；HAT設計極大簡化物理連接與布線，顯著節省控制柜空間，輕松覆蓋復雜設備的多點監測需求。降低系統復雜度，提升空間利用率，快速響應大規模測溫需求。

提問；精度漂移與可靠性隱患？

回答：集成式高精度CJC與工業級設計

板載精密溫度傳感器實現自動、高精度冷端補償(CJC)，徹底消除對外部CJC傳感器的依賴；減少接線點與潛在故障源，從源頭提升長期測量穩定性與數據可靠性；元器件選型與電路設計遵循工業標準，確保在半導體設備嚴苛環境下持續穩定運行。保障關鍵工藝溫度數據的準確性與可信度，減少因測溫誤差導致的批次異常和良率損失。

提問:系統集成復雜度高？

回答:成熟Linux驅動與專業API

提供開箱即用、穩定可靠的Linux驅動程序及API-SSI (LNX)應用編程接口；開發團隊可基于此快速構建定制化的溫度監測、超限報警、數據記錄與閉環控制應用，大幅縮短開發周期；API設計簡潔高效，降低集成難度與后期維護成本。加速系統部署，降低開發風險與總擁有成本(TCO)，釋放工程師生產力。

提問:維護與可擴展性？

回答:模塊化、標準化、靈活擴展

基于Raspberry Pi? 生態的開放性與CPI-SSI-4C的模塊化設計，支持按需增購板卡，輕松擴展通道數；標準HAT接口與統一驅動，確保新舊模塊無縫兼容，簡化維護與升級。提供面向未來的可擴展性，適應工藝迭代需求。

Part 3.量身定制

賦能半導體關鍵制程

薄膜沉積(CVD/PVD)/擴散爐的多區域溫場監控，保障薄膜均勻性與摻雜濃度；優化蝕刻/清洗設備的反應腔與管路溫度，提升工藝選擇比；減少晶圓測試探針臺熱應力導致的測試誤差；設備溫度趨勢分析實現預測性維護，提升OEE。

立即聯系康泰克技術團隊，獲取詳細規格書與應用案例，探討如何為您的關鍵設備部署高可靠溫度監測解決方案！

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